第四篇 金刚石膜的应用

第16章 金刚石膜的加工

16.1 引言

16.2 切割

16.2.1 激光切割

16.2.2 电火花切割

16.3 抛光

16.3.1 机械研磨抛光

16.3.2 热化学抛光

16.3.3 激光抛光

16.3.4 离子束抛光

16.3.5 其他抛光方法

16.4 图形化

16.4.1 离子束溅射刻蚀

16.4.2 反应离子刻蚀

16.4.3 激光刻蚀

16.4.4 金属活性催化刻蚀

16.4.5 金刚石膜的选择性沉积

参考文献

第17章 金刚石薄膜涂层硬质合金工具

17.1 引言

17.2 提高金刚石薄膜与硬质合金衬底黏着力的研究

17.2.1 金刚石膜黏着力测试方法

17.2.2 提高金刚石膜与硬质合金衬底黏着力的方法研究

17.3 金刚石薄膜涂层硬质合金刀具

17.3.1 金刚石薄膜涂层硬质合金刀具的研发与市场应用

17.3.2 金刚石薄膜涂层硬质合金工具典型切削性能

17.4 金刚石薄膜涂层拉拔模具

17.4.1 拉拔模具简介

17.4.2 金刚石薄膜涂层拉拔模具研究进展

17.4.3 金刚石薄膜涂层圆孔模具的制备及表征

17.4.4 金刚石薄膜涂层圆孔模具的应用

17.4.5 金刚石薄膜涂层异型模的应用

17.5 结语

参考文献

第18章 金刚石薄膜电学应用

18.1 引言

18.2 紫外探测器

18.2.1 金刚石薄膜紫外光探测器的简介

18.2.2 金刚石薄膜紫外光探测器的工作原理

18.2.3 探测器用金刚石薄膜的研究进展

18.2.4 金刚石薄膜紫外光探测器的制备及性能研究

18.2.5 金刚石薄膜紫外光探测器的应用

18.3 辐射探测器

18.3.1 金刚石薄膜辐射探测器的简介

18.3.2 金刚石薄膜辐射探测器的工作原理

18.3.3 金刚石薄膜辐射探测器的研究进展

18.3.4 金刚石薄膜辐射探测器的制备及性能研究

18.3.5 金刚石薄膜辐射探测器的应用领域

18.4 金刚石场效应管

18.4.1 金刚石薄膜FET简介

18.4.2 金刚石薄膜FET制作的关键技术

18.4.3 金刚石薄膜p型半导体

18.4.4 金刚石薄膜FET的研究进展

18.5 金刚石二极管

18.5.1 二极管简介

18.5.2 二极管原理

18.5.3 金刚石二极管研究进展

18.5.4 金刚石二极管的应用

18.6 金刚石在集成电路光刻中的应用

18.6.1 光刻技术面临的挑战

18.6.2 下一代光刻技术

18.6.3 X射线光刻技术

18.6.4 纳米晶金刚石薄膜光刻掩模基膜材料

18.7 其他应用

18.7.1 场发射应用

18.7.2 超导特性

18.7.3 压力传感器

18.7.4 基于金刚石晶体的量子计算

18.8 结语

参考文献

第19章 金刚石膜的电化学应用

19.1 引言

19.2 金刚石膜电化学性能的表征方法

19.2.1 循环伏安法

19.2.2 差分脉冲伏安法

19.2.3 电化学交流阻抗谱方法

19.2.4 溶出伏安法

19.2.5 毛细管-电化学测试方法

19.2.6 流动注射电化学联用技术

19.3 金刚石电极的电化学性能

19.3.1 宽的电势窗口及低背景电流

19.3.2 纳米金刚石及类金刚石

19.3.3 反应能力及表面处理

19.3.4 透过率

19.3.5 半导体金刚石电极

19.3.6 金刚石的表面传导性

19.4 金刚石膜在电化学传感器中的应用

19.4.1 液体电化学传感器

19.4.2 电化学气体传感器

19.4.3 光电化学传感器

19.5 金刚石膜污水处理技术

19.5.1 电化学氧化法

19.5.2 光电催化氧化法

19.5.3 芬顿法

19.5.4 超声增强电化学氧化法

19.5.5 电化学氧化和臭氧氧化耦合技术

19.6 金刚石膜在电化学超级电容器上的应用

19.7 金刚石的电化学修饰

19.8 金刚石膜在电化学上的其他应用

19.9 结语

参考文献

第20章 金刚石膜光学应用

20.1 引言

20.2 光学级金刚石自支撑膜的制备

20.3 金刚石自支撑膜红外光学窗口

20.3.1 飞行器红外光学窗口

20.3.2 其他红外光学窗口

20.4 微波窗口应用

20.5 高功率激光窗口

20.6 光学涂层

20.7 其他光学应用

20.7.1 热成像系统窗口

20.7.2 可见光效益

20.7.3 标准量块应用

20.7.4 X射线应用

20.7.5 其他光学应用

20.8 金刚石膜光学应用现状与展望

参考文献

第21章 声学应用

21.1 引言

21.2 声表面波器件的结构和工作原理

21.3 金刚石多层膜声表面波特性计算与分析

21.4 适用于声表面波器件的金刚石膜

21.4.1 微米级多晶金刚石

21.4.2 金刚石镜面成核面和纳米金刚石膜

21.5 金刚石基底上压电薄膜的制备

21.5.1 压电力显微镜

21.5.2 ZnO压电薄膜

21.5.3 AlN压电薄膜

21.6 金刚石多层膜SAW器件制作及性能检测

21.6.1 器件的制作

21.6.2 器件性能检测

21.7 金刚石表面波器件的应用

21.8 结语

参考文献

第22章 金刚石膜在极高能量密度环境中的应用前景

22.1 引言

22.2 磁约束核聚变发电装置面向等离子体壁材料

22.2.1 概述

22.2.2 面向等离子体壁材料（面壁材料）

22.2.3 CVD金刚石膜面壁材料研究与前景

22.3 激光（惯性）约束核聚变

22.4 强子对撞机

22.4.1 概述

22.4.2 LHC金刚石束流监测器

22.4.3 金刚石像素探测器

22.4.4 金刚石前冲量能器

22.5 结语

参考文献

第23章 CVD金刚石膜市场分析

23.1 引言

23.2 CVD金刚石膜目标市场

23.2.1 切削刀具和耐磨部件

23.2.2 热管理

23.2.3 高温半导体及电子器件

23.2.4 光学窗口

23.2.5 扬声器振膜、声表面波器件

23.2.6 金刚石压砧

23.2.7 电化学

23.2.8 生物医学

23.2.9 钻石首饰

23.3 CVD金刚石膜市场现状

23.3.1 进入市场CVD金刚石产品

23.3.2 市场规模

23.3.3 CVD金刚石膜市场地区分布

23.3.4 国内市场

23.3.5 设备

23.3.6 科研与产业

23.4 CVD金刚石膜大规模工业化应用的关键因素

23.4.1 技术障碍

23.4.2 成本分析

23.4.3 市场需求和市场接受

23.4.4 产品竞争

23.5 展望

参考文献

第五篇 纳米金刚石膜制备与应用

第24章 纳米金刚石的制备

24.1 引言

24.2 纳米金刚石薄膜的制备

24.2.1 离子轰击制备纳米金刚石薄膜

24.2.2 Ar气氛中制备纳米金刚石薄膜

24.3 金刚石纳米线的制备

24.3.1 金刚石纳米线的制备过程

24.3.2 金刚石纳米线的表征

24.3.3 金刚石纳米线的形成机制

24.4 金刚石纳米锥的制备

24.4.1 金刚石纳米锥阵列的制备与表征

24.4.2 金刚石纳米锥的生长特性

24.4.3 金刚石纳米锥的形成机制

参考文献

第25章 纳米金刚石的特性与应用

25.1 纳米金刚石薄膜的摩擦磨损特性与应用

25.1.1 纳米金刚石薄膜摩擦学性能

25.1.2 纳米金刚石涂层微细PCB钻头的制备及表征

25.1.3 拉拔模具

25.1.4 纳米金刚石薄膜在密封环上的应用

25.2 纳米金刚石薄膜的介电特性与应用

25.3 金刚石纳米线的场发射特性与应用

25.4 金刚石纳米线的气敏特性与应用

25.5 金刚石纳米锥的场发射特性与应用

25.6 金刚石纳米锥的电子输运特性与应用

参考文献

第六篇 金刚石相关材料

第26章 类金刚石薄膜制备及应用

26.1 引言

26.2 类金刚石薄膜的制备技术

26.2.1 物理气相沉积技术

26.2.2 化学气相沉积技术

26.2.3 等离子体浸没式离子注入沉积技术

26.2.4 液相沉积法

26.2.5 各种沉积技术的比较

26.2.6 复合镀膜技术

26.3 类金刚石薄膜的结构与性能

26.3.1 DLC薄膜的结构

26.3.2 DLC薄膜的性能

26.4 类金刚石薄膜分析与测试技术

26.4.1 概述

26.4.2 形貌分析

26.4.3 结构与成分分析

26.4.4 性能测试

26.5 类金刚石薄膜的应用领域

26.5.1 机械领域的应用

26.5.2 光电领域的应用

26.5.3 医学领域的应用

26.5.4 在其他行业的应用

26.6 类金刚石薄膜的发展状况及展望

26.6.1 DLC薄膜的发展状况

26.6.2 DLC薄膜的展望

参考文献

第27章 立方氮化硼薄膜

27.1 引言

27.2 c-BN薄膜的制备与表征

27.2.1 生长模型

27.2.2 制备方法

27.2.3 c-BN的表征

27.3 c-BN薄膜研究现状与应用前景

27.3.1 c-BN厚膜的沉积

27.3.2 高品质c-BN膜的外延生长

27.3.3 c-BN薄膜的掺杂及电学性质

参考文献

第28章 氮化碳薄膜

28.1 氮化碳的研究历史

28.1.1 氮化碳的研究起源

28.1.2 针对氮化碳的代表性理论研究及其发展

28.2 氮化碳的结构

28.2.1 几种主要氮化碳的结构

28.2.2 氮化碳中的化学键

28.3 氮化碳的制备

28.3.1 气相沉积方法制备氮化碳薄膜

28.3.2 高温高压法

28.3.3 高温热解

28.3.4 机械合金化合成氮化碳

28.3.5 溶剂热合成方法

28.3.6 其他制备方法

28.4 氮化碳的结构表征

28.4.1 扫描电子显微镜

28.4.2 X射线衍射

28.4.3 X射线光电子能谱

28.4.4 红外光谱

28.5 氮化碳薄膜的性质与应用前景

28.5.1 氮化碳薄膜的力学性能

28.5.2 光学性能

28.5.3 光催化特性

28.5.4 电学性能

28.5.5 生物医学性能

28.6 氮化碳薄膜的应用前景

28.7 氮化碳薄膜的研究不足

参考文献

第29章 新型纳米碳材料

29.1 引言

29.2 富勒烯

29.2.1 发展历史

29.2.2 C60物理性质与化学性质

29.2.3 富勒烯的制备

29.2.4 富勒烯的提取与分离

29.2.5 富勒烯的应用

29.3 碳纳米管

29.3.1 碳纳米管的结构

29.3.2 碳纳米管的性能

29.3.3 碳纳米管的制备

29.3.4 碳纳米管的应用

29.4 石墨烯

29.4.1 石墨烯的结构和形貌

29.4.2 石墨烯的性能

29.4.3 石墨烯的制备

29.4.4 石墨烯的应用

29.5 其他新型纳米碳材料

29.6 结语

参考文献

附录 缩略语

索引