《The MEMS Handbook Second Edition MEMS Introduction and fundamentals,Mohamed Gad
【书名】：《The MEMS Handbook Second Edition MEMS Introduction and fundamentals,Mohamed Gad-el-Hak,Taylor & Francis Group,LLC,2006》 【作者】： 【出版社】： 【时间】： 【页数】：469 【ISBN】： 【SS码】：40384929
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