【书名】：《微传感器、微机电系统和灵巧器件》
【作者】：加德纳（Gardner，J.W.），瓦拉旦（Varadan，V.K.），韦德尔卡姆（Wadelkarim，O.A.）著
【出版社】：清华大学出版社
【时间】：2004
【页数】：505
【ISBN】：7302081220
【SS码】：40072469