内容简介
第一篇 半导体中氢的鉴别及氢致缺陷
第1章 氢气区溶硅单晶中硅氢键的红外吸收光谱
1.1 FZ c-Si:H样品红外吸收谱的首次实验测定
1.2 FZ c-Si:H红外吸收谱全谱段的测量
1.3氢气区溶硅单晶红外吸收谱的鉴别
1.4 2210cm-1和1949(1946)cm-1峰的微观模型
第2章 氢气区溶硅单晶中的氢致缺陷
2.1氢致“雪花”缺陷
2.2硅单晶中氢致缺陷的形成机制
2.3硅中氢的电子结构的分子轨道方法处理
2.3.1硅晶格中Si—H键单元的轨道
2.3.2 Si—H振动与红外辐射之间的耦合
2.3.3硅中氢的某些电子性质及与实验比较
第3章 硅单晶中氢沉淀物的X射线衍射动力学理论和实验研究
3.1硅中氢沉淀物的X射线截面形貌
3.1.1中等温度热处理的氢气区溶硅单晶的X射线截面形貌
3.1.2球状应变中心X射线形貌衬度的特征
3.2硅中球状应变中心的衍射动力学理论模拟
3.2.1球状应变中心的应变场的模型
3.2.2拍摄氢沉淀物截面形貌图像的衍射几何
3.3衍射图的形态与缺陷的关系
3.3.1图像随晶体厚度的变化
3.3.2图像随缺陷应变场大小的变化
3.3.3图像随形变符号的变化
3.3.4图像随缺陷在常数深度下横贯鲍曼扇不同位置的变化
3.3.5 图像随缺陷深度的变化
3.4与实验的比较
3.5关于晶体中球状应变中心形貌理论模拟的经验与结论
第4章 硅单晶中早期氢致缺陷的X射线统计动力学衍射理论和实验研究
4.1低温热处理的氢气区溶硅单晶的高能同步辐射截面形貌
4.2 X射线统计动力学衍射理论和模型
4.3单晶硅的高能同步辐射截面形貌图及其强度分布的模拟
4.4同步辐射形貌结合静态德拜-沃勒因子分析导出的结论
第5章 半导体中的分子氢及相关缺陷
5.1晶体硅中氢分子振动的Raman谱观察
5.2晶体硅中氢分子的形成
5.3经历氢化后硅的Raman谱的一般特征
5.4硅单晶中被捕捉在空洞中的氢分子
5.5硅单晶中四面体间隙位的氢分子
第一篇参考文献
第二篇 半导体中氢的基本性质
第6章 结晶半导体中的孤立间隙氢
6.1半导体中杂质的理论技术
6.2点阵中氢和μ子素的位置
6.3电子结构
第7章 半导体中的含氢复合物
7.1氢与硅悬键的相互作用
7.2硅中氢-深级缺陷复合物
7.3硅中氢-浅级缺陷复合物
第8章Ⅲ-Ⅴ和Ⅱ -Ⅵ族半导体中氢的性质
8.1 GaAs中的C-H复合物
8.2 GaN中的Mg-H复合物
第9章 半导体中氢的电子性质和能级
9.1氢的形成能与电子跃迁能级
9.2氢能级排队
9.3氢的光电化学性质
9.4普适能级
9.4.1“通常”半导体和显著阳离子-阴离子失配半导体
9.4.2氢的行为由其能级与母体能带结构的关系所决定
9.5晶体硅中氢分子的能带结构和能级
第10章 半导体中氢的化学键及其对材料性质的影响
10.1氢多中心键
10.2 ZnO和TiO2中的氢相关缺陷
10.3 InN中非故意导电性的起源
10.4 SnO2中电导率的起源
10.5分子间氢键有机半导体
第二篇参考文献
第三篇 半导体中氢的重要效应及相关应用
第11章 氢与半导体中其他杂质和缺陷的相互关系
11.1氢与点缺陷的相互作用
11.2硅中氢与位错的相互作用
11.3单晶硅中因氢化产生的缺陷
11.4氢离子注入硅中平面缺陷的成核和生长
第12章 半导体中电活性杂质和缺陷的中性化
12.1硅中深能级缺陷的中性化
12.2硅中浅级杂质的中性化
12.3 Ⅲ-Ⅴ半导体中缺陷和掺杂的中性化
12.4氢中性化与材料的缺陷类型和微结构的相关性
第13章 氢致半导体性质改变及其应用
13.1采用调制氢化效应的面内带隙工程
13.2氢致半导体表面金属化
13.3氢致磁性半导体的磁性改变
13.3.1磁性半导体Mn1 -xGaxAs
13.3.2磁性半导体MnxSi1-x
第14章 半导体表面的氢
14.1氢与表面结构
14.2半导体碳化硅亚表面氢致纳米隧道开辟
14.2.1 ab initio模拟建立的原子结构和电子性质
14.2.2关于纳米隧道的性质及其应用的讨论
第15章 氢致半导体和复合氧化物层改性
15.1 H/He注入致层改性过程的基本性质
15.2化合物半导体和氧化物材料的层劈裂
第三篇参考文献