内容简介
第1章 引言
1.1 早期的历史
1.2 光学薄膜
参考文献
第2章 基本理论
2.1 麦克斯韦方程和平面电磁波
2.1.1 坡印亭矢量
2.2 简单边界
2.2.1 垂直入射
2.2.2 倾斜入射
2.2.3 倾斜入射的光学导纳
2.2.4 吸收介质中的垂直入射
2.2.5 吸收介质中的倾斜入射
2.3 单层薄膜的反射率
2.4 多层膜系的反射率
2.5 反射率、透射率和吸收率
2.6 单位
2.7 重要结果总结
2.8 可能透射率
2.9 膜系透射率定理
2.10 相干性
2.11 两个或多个表面的非相干反射
参考文献
第3章 光学薄膜计算与设计的一些方法
3.1 λ/4和λ/2光学厚度
3.2 导纳轨迹
3.3 导纳图中的电场和损耗
3.4 矢量法
3.5 赫平折射率
3.6 膜系计算的迭代方法
3.7 多层膜设计的史密斯方法
3.8 史密斯圆图
3.9 反射率圆图
参考文献
第4章 减反射膜
4.1 高折射率基底上的减反射膜
4.1.1 单层减反射膜
4.1.2 双层减反射膜
4.1.3 多层膜
4.2 低折射率基底上的减反射膜
4.2.1 单层减反射膜
4.2.2 双层减反射膜
4.2.3 多层减反射膜
4.3 等效膜层
4.4 具有两个零点的减反射膜
4.5 可见光及红外区的减反射膜
4.6 非均匀层
4.7 更多信息
参考文献
第5章 中性反射镜和分光镜
5.1 高反射薄膜
5.1.1 金属膜反射镜
5.1.2 金属膜的保护
5.1.3 总系统性能与增加金属膜反射率
5.1.4 紫外反射膜
5.2 中性分光镜
5.2.1 金属膜分光镜
5.2.2 介质膜分光镜
5.3 中性滤光片
参考文献
第6章 多层高反射膜
6.1 法布里-珀罗干涉仪
6.2 多层介质膜
6.2.1 宽高反射区的多层全介质膜
6.2.2 薄膜均匀性的要求
6.3 损耗
参考文献
第7章 截止滤光片
7.1 薄膜型吸收滤光片
7.2 干涉截止滤光片
7.2.1 λ/4多层膜
7.2.2 对称多层膜和赫平折射率
7.2.3 性能计算
参考文献
第8章 带通滤光片
8.1 宽带滤光片
8.2 窄带滤光片
8.2.1 金属-介质单腔滤光片
8.2.2 全介质单腔滤光片
8.2.3 固体标准具滤光片
8.2.4 入射角变化的影响
8.2.5 边带阻隔
8.3 多腔滤光片
8.3.1 Thelen分析法
8.4 多腔滤光片更高的性能
8.4.1 倾斜的影响
8.4.2 多腔滤光片的损耗
8.4.3 补充材料
8.5 相位色散滤光片
8.6 多腔金属-介质滤光片
8.6.1 诱导透射滤光片
8.6.2 滤光片设计实例
8.7 滤光片的实测性能
参考文献
第9章 倾斜入射薄膜
9.1 修正导纳和倾斜导纳图
9.2 导纳图的应用
9.3 偏振器
9.3.1 布儒斯特角偏振分束器
9.3.2 偏振片
9.3.3 偏振分光棱镜
9.4 无偏振薄膜
9.4.1 中等入射角的截止滤光片
9.4.2 大入射角时的反射膜
9.4.3 大入射角时的截止滤光片
9.5 减反射膜
9.5.1 仅p偏振的情形
9.5.2 仅s偏振的情形
9.5.3 s偏振和p偏振同时存在的情形
9.6 相位延迟器
9.6.1 椭圆偏光参数和相对相位延迟
9.6.2 多个表面镀膜的椭圆偏光参数和相对相位延迟
9.6.3 相位延迟器
9.6.4 简单的相位延迟器
9.6.5 单波长多层膜相位延迟器
9.6.6 多波长多层膜相位延迟器
9.7 光学隧穿滤光片
参考文献
第10章 光学薄膜色度学
10.1 颜色的定义
10.2 1964补充标准色度观察者
10.3 同色异谱
10.4 其他颜色空间
10.5 色调和色度
10.6 亮度和最佳刺激
10.7 彩色条纹
参考文献
第11章 镀膜工艺及薄膜材料
11.1 薄膜的镀制
11.1.1 热蒸发
11.1.2 高能沉积过程
11.1.3 其他沉积过程
11.1.4 烘烤
11.2 光学性质的测量
11.3 机械特性的测量
11.4 毒性
11.5 常见材料的特性
参考文献
第12章 影响薄膜性能的因素
12.1 微观结构和薄膜的性能
12.2 对污染物的敏感度
参考文献
第13章 膜厚均匀性与厚度监控
13.1 均匀性
13.1.1 平面夹具
13.1.2 球面夹具
13.1.3 旋转基底
13.1.4 掩膜的用途
13.2 基底准备
13.3 膜层厚度监控和控制
13.3.1 光学监控技术
13.3.2 石英晶体监控
13.3.3 通过沉积时间监控
13.4 厚度容差
参考文献
第14章 滤光片规格与环境影响
14.1 光学特性
14.1.1 性能指标
14.1.2 制作指标
14.1.3 测试指标
14.2 物理性质
14.2.1 耐磨性
14.2.2 黏附性
14.2.3 耐环境性
参考文献
第15章 系统考虑:滤光片和薄膜的应用
15.1 干涉滤光片的能量获取
15.2 天文学中的窄带滤光片
15.3 大气温度检测
15.4 光栅光谱仪中的级次选择滤光片
15.5 眩光抑制滤光片和镀膜
15.6 包含金属层的薄膜
15.6.1 用于肖特基势垒光电二极管的电极薄膜
15.6.2 用于太阳能光热转换的光谱选择薄膜
15.6.3 热反射金属-介质膜
参考文献
第16章 其他主题
16.1 皱褶滤光片
16.2 超快薄膜
16.3 自动设计方法
16.4 光学薄膜中的增益
16.4.1 倾斜入射
16.5 光子晶体
16.5.1 什么是光子晶体
16.5.2 二维光子晶体
16.5.3 一维光子晶体
参考文献
第17章 介质薄膜材料的特性
参考文献
参考书目
中英文对照表