YS/T 15—1991硅外延层和扩散层厚度测定 磨角染色法

YS/T 23—1992硅外延层厚度测定 堆垛层错尺寸法

YS/T 24—1992外延钉缺陷的检验方法

YS/T 26—1992硅片边缘轮廓检验方法

YS/T 34.1—2011高纯砷化学分析方法 电感耦合等离子体质谱法（ICP-MS）测定高纯砷中杂质含量

YS/T 34.2—2011高纯砷化学分析方法 极谱法测定硒量

YS/T 34.3—2011高纯砷化学分析方法 极谱法测定硫量

YS/T 35—2012高纯锑化学分析方法镁、锌、镍、铜、银、镉、铁、硫、砷、金、锰、铅、铋、硅、硒含量的测定 高质量分辨率辉光放电质谱法

YS/T 37.1—2007高纯二氧化锗化学分析方法 硫氰酸汞分光光度法测定氯量

YS/T 37.2—2007高纯二氧化锗化学分析方法 钼蓝分光光度法测定硅量

YS/T 37.3—2007高纯二氧化锗化学分析方法 石墨炉原子吸收光谱法测定砷量

YS/T 37.4—2007高纯二氧化锗化学分析方法 电感耦合等离子体质谱法测定镁、铝、钴、镍、铜、锌、铟、铅、钙、铁和砷量

YS/T 37.5—2007高纯二氧化锗化学分析方法 石墨炉原子吸收光谱法测定铁量

YS/T 38.1—2009高纯镓化学分析方法第1部分：硅量的测定 钼蓝分光光度法

YS/T 38.2—2009高纯镓化学分析方法第2部分：镁、钛、铬、锰、镍、钴、铜、锌、镉、锡、铅、铋量的测定 电感耦合等离子体质谱法

YS/T 226.1—2009硒化学分析方法第1部分：铋量的测定 氢化物发生-原子荧光光谱法

YS/T 226.2—2009硒化学分析方法第2部分：锑量的测定 氢化物发生-原子荧光光谱法

YS/T 226.3—2009硒化学分析方法第3部分：铝量的测定 铬天青S-溴代十六烷基吡啶分光光度法

YS/T 226.4—2009硒化学分析方法第4部分：汞量的测定 双硫腙-四氯化碳滴定比色法

YS/T 226.5—2009硒化学分析方法第5部分：硅量的测定 硅钼蓝分光光度法

YS/T 226.6—2009硒化学分析方法第6部分：硫量的测定 对称二苯氨基脲分光光度法

YS/T 226.7—2009硒化学分析方法第7部分：镁量的测定 火焰原子吸收光谱法

YS/T 226.8—2009硒化学分析方法第8部分：铜量的测定 火焰原子吸收光谱法

YS/T 226.9—2009硒化学分析方法第9部分：铁量的测定 火焰原子吸收光谱法

YS/T 226.10—2009硒化学分析方法第10部分：镍量的测定 火焰原子吸收光谱法

YS/T 226.11—2009硒化学分析方法第11部分：铅量的测定 火焰原子吸收光谱法

YS/T 226.12—2009硒化学分析方法第12部分：硒量的测定 硫代硫酸钠容量法

YS/T 226.13—2009硒化学分析方法第13部分：银、铝、砷、硼、汞、铋、铜、镉、铁、镓、铟、镁、镍、铅、硅、锑、锡、碲、钛、锌量的测定 电感耦合等离子体质谱法

YS/T 227.1—2010碲化学分析方法第1部分：铋量的测定 氢化物发生-原子荧光光谱法

YS/T 227.2—2010碲化学分析方法第2部分：铝量的测定 铬天青S-溴代十四烷基吡啶胶束增溶分光光度法

YS/T 227.3—2010碲化学分析方法第3部分：铅量的测定 火焰原子吸收光谱法

YS/T 227.4—2010碲化学分析方法第4部分：铁量的测定 邻菲啰啉分光光度法

YS/T 227.5—2010碲化学分析方法第5部分：硒量的测定2，3-二氨基萘分光光度法

YS/T 227.6—2010碲化学分析方法第6部分：铜量的测定 固液分离-火焰原子吸收光谱法

YS/T 227.7—2010碲化学分析方法第7部分：硫量的测定 电感耦合等离子体原子发射光谱法

YS/T 227.8—2010碲化学分析方法第8部分：镁、钠量的测定 火焰原子吸收光谱法

YS/T 227.9—2010碲化学分析方法第9部分：碲量的测定 重铬酸钾-硫酸亚铁铵容量法

YS/T 227.10—2010碲化学分析方法第10部分：砷量的测定 氢化物发生-原子荧光光谱法

YS/T 227.11—2010碲化学分析方法第11部分：硅量的测定 正丁醇萃取硅钼蓝分光光度法

YS/T 227.12—2011碲化学分析方法第12部分：铋、铝、铅、铁、硒、铜、镁、钠、砷量的测定电感耦合等离子体原子发射光谱法

YS/T 229.1—2013高纯铅化学分析方法第1部分：银、铜、铋、铝、镍、锡、镁和铁量的测定化学光谱法

YS/T 229.2—2013高纯铅化学分析方法第2部分：砷量的测定 原子荧光光谱法

YS/T 229.3—2013高纯铅化学分析方法第3部分：锑量的测定 原子荧光光谱法

YS/T 229.4—2013高纯铅化学分析方法第4部分：痕量杂质元素含量的测定 辉光放电质谱法

YS/T 276.1—2011铟化学分析方法第1部分：砷量的测定 氢化物发生-原子荧光光谱法

YS/T 276.2—2011铟化学分析方法第2部分：锡量的测定 苯基荧光酮-溴代十六烷基三甲胺分光光度法

YS/T 276.3—2011铟化学分析方法第3部分：铊量的测定 甲基绿分光光度法

YS/T 276.4—2011铟化学分析方法第4部分：铝量的测定 铬天青S分光光度法

YS/T 276.5—2011铟化学分析方法第5部分：铁量的测定 方法1：电热原子吸收光谱法方法2：火焰原子吸收光谱法

YS/T 276.6—2011铟化学分析方法第6部分：铜、镉、锌量的测定 火焰原子吸收光谱法

YS/T 276.7—2011铟化学分析方法第7部分：铅量的测定 火焰原子吸收光谱法

YS/T 276.8—2011铟化学分析方法第8部分：铋量的测定 方法1：氢化物发生-原子荧光光谱法 方法2：火焰原子吸收光谱法

YS/T 276.9—2011铟化学分析方法第9部分：铟量的测定Na2 EDTA滴定法

YS/T 276.10—2011铟化学分析方法第10部分：铋、铝、铅、铁、铜、镉、锡、铊量的测定 电感耦合等离子体原子发射光谱法

YS/T 276.11—2011铟化学分析方法第11部分：砷、铝、铅、铁、铜、镉、锡、铊、锌、铋量的测定电感耦合等离子体质谱法

YS/T 519.1—2009砷化学分析方法第1部分：砷量的测定 溴酸钾滴定法

YS/T 519.2—2009砷化学分析方法第2部分：锑量的测定 孔雀绿分光光度法

YS/T 519.3—2009砷化学分析方法第3部分：硫量的测定 硫酸钡重量法

YS/T 519.4—2009砷化学分析方法第4部分：铋、锑、硫量的测定 电感耦合等离子体原子发射光谱法

YS/T 602—2007区熔锗锭电阻率测试方法 两探针法

YS/T 679—2008非本征半导体中少数载流子扩散长度的稳态表面光电压测试方法

YS/T 715.1—2009二氧化硒化学分析方法第1部分：二氧化硒量的测定 硫代硫酸钠滴定法

YS/T 715.2—2009二氧化硒化学分析方法第2部分：砷、镉、铁、汞、铅量的测定 电感耦合等离子体原子发射光谱法

YS/T 715.3—2009二氧化硒化学分析方法第3部分：氯量的测定 氯化银浊度法

YS/T 715.4—2009 二氧化硒化学分析方法第4部分：灼烧残渣的测定 重量法

YS/T 715.5—2009二氧化硒化学分析方法第5部分：水不溶物含量的测定 重量法

YS/T 839—2012硅衬底上绝缘体薄膜厚度及折射率的椭圆偏振测试方法

YS/T 917—2013高纯镉化学分析方法 痕量杂质元素含量的测定 辉光放电质谱法

附录1 SEMI标准目录

附录2国外标准目录