1 等离子体电子学的学习方法

1.1　等离子体概述

目录

篇外话

“等离子体”名称的由来

1.2　等离子体的各种性质

1.3　等离子体的应用

1.4　本书的构成

练习题

2　等离子体中的微观运动

2.1 单个粒子的运动

2.2　粒子间的碰撞

2.3 弹性碰撞中的能量损失

2.4　原子的激发与电离

原子的内部状态和光谱标记

2.5　分子的激发与离解、电离

练习题

3　等离子体的宏观性质

3.1 分布函数与平均量

3.2　等离子体基本方程

3.3　等离子体的电中性

3.4　粒子流动与密度分布

3.5　等离子体鞘层

朗缪尔探针

3.6　能量平衡与粒子数平衡

练习题

4　气体放电与等离子体的形成

4.1 气体的绝缘击穿——汤生的实验和理论

4.2　放电起始电压——帕邢定律

4.3　气体放电中的等离子体状态

4.4　汤生理论的局限性

流注的形成

练习题

5 等离子体的生成方法Ⅰ——直流放电

5.1 各种放电方法与放电模式

表面磁场对等离子体的约束作用

5.2　辉光放电与低温等离子体

5.3　电弧放电与热等离子体

5.4　电晕放电与高气压低温等离子体

5.5　磁控管放电

练习题

——高频放电、微波放电

6.1 等离子体生成与天线耦合

6　等离子体的生成方法Ⅱ

6.2　平行板加RF电压——电容耦合等离子体

6.3　线圈通RF电流——感应耦合等离子体

6.4　等离子体中的波

6.5　强电波照射——表面波等离子体

6.6　使用磁场中的波——ECR等离子体和螺旋波等离子体

练习题

朗道衰减与回旋衰减

7 等离子体在电子、环境工程中的应用

7.1 LSI制造工艺中的等离子体刻蚀法

7.2 非晶硅薄膜的等离子体CVD制备法

7.3　等离子体显示器件的工作原理

7.4　利用等离子体的环境改善技术

练习题

用强光生成等离子体

练习题解答

参考文献

附录