目 录

第一章真空的概述

§1.1真空和真空技术的简史

§1.2真空度量的单位和真空区域的划分

§1.3真空技术的应用

第二章真空物理基础

§2.1理想气体定律

§2.2气体分子运动论基础知识

§2.3基本气体传输现象

§2.4分压强定律

§2.5气体电离与放电现象

§2.6固体对气体和蒸气的吸附

§2.7气体的流动

第三章真空获得

§3.1真空泵的性能参量

§3.2机械真空泵

§3.3扩散泵

§3.4无油真空泵

第四章真空测量

§4.1总压强计

§4.2分压强测量

第五章真空系统

§5.1真空系统的材料

§6.2真空阀门

§5.3真空阱

§54真空系统的组装技术

§5.5实用真空系统

第六章真空检漏

§6.1真空检漏的重要性

§6.2常用的检漏方法

§6.3氦质谱检漏仪

§6.4标准漏孔

附录