【书名】：《芯片制造 半导体工艺制程实用教程 第6版 英文版》
【作者】：（美）赞特（PeterVanZant）著
【出版社】：北京：电子工业出版社
【时间】：2014
【页数】：546
【ISBN】：9787121243783
【SS码】：13743047