内容简介
1光学薄膜的基本性质和设计方法
1.1光学薄膜的光学性质
1.1.1薄膜光学的理论基础
1.1.2光学薄膜的吸收
1.1.3吸收对光学薄膜性能的影响
1.1.4光学薄膜的散射
1.1.5光学薄膜的不均匀性
1.1.6光学薄膜的各向异性
1.1.7光学薄膜的偏振特性
1.1.8光学薄膜的相位延迟
1.1.9光学薄膜的群延迟及群延迟色散
参考文献
1.2光学薄膜的力学性质
1.2.1薄膜应力的形成及分类
1.2.2薄膜内应力的力学模型
1.2.3薄膜应力的微观力学模型
1.2.4沉积工艺对光学薄膜应力的影响
1.2.5多层膜应力
1.2.6光学薄膜应力发展的实时监测
1.2.7光学薄膜的应力破坏
参考文献
1.3光学薄膜的设计
1.3.1光学薄膜的分析设计
1.3.2光学薄膜自动设计
1.3.3膜系设计实例
参考文献
2几类特殊的光学薄膜
2.1紫外光学薄膜
2.1.1紫外光及紫外光学薄膜的一般特性
2.1.2影响紫外高反膜光学性能的主要因素
2.1.3几种紫外激光薄膜
参考文献
2.2极紫外和软X射线薄膜
2.2.1软X射线多层膜设计的基本理论
2.2.2软X射线及极紫外薄膜的一般设计结果
2.2.3多层膜的性能分析
2.2.4软X射线多层膜反射镜的研制
2.2.5性能测试
2.2.6几种反射膜的研制
2.2.7软X射线多层膜分光元件的研制
2.2.8反射型软X射线位相光栅的研制
参考文献
2.3介质膜光栅
2.3.1多层介质膜光栅
2.3.2多层介质膜光栅的衍射特性分析
2.3.3多层介质膜脉冲压缩光栅的优化设计
2.3.4介质膜光栅中的导模共振
参考文献
2.4雕塑薄膜
2.4.1倾斜沉积雕塑薄膜的基本性质
2.4.2有效介质理论介绍
2.4.3雕塑薄膜的制备及结构特征
2.4.4几种雕塑薄膜
参考文献
3光学薄膜在激光系统中的应用
3.1概述
参考文献
3.2激光系统中的几类激光薄膜
3.2.1反射膜
3.2.2激光减反射薄膜
3.2.3激光偏振膜
3.2.4波长分离膜
3.2.5高斯输出镜
3.2.6负色散补偿反射镜
参考文献
3.3光学薄膜的激光破坏
3.3.1激光对光学薄膜破坏的一般规律
3.3.2激光对光学薄膜破坏的热过程分析
3.3.3光学薄膜激光破坏的热力耦合
3.3.4光学薄膜的缺陷破坏
3.3.5光学薄膜中的节瘤缺陷
3.3.6光学薄膜的非线性破坏
3.3.7多脉冲激光对光学薄膜的破坏
3.3.8真空环境下光学薄膜的激光破坏
参考文献
附录 各章节参考研究生论文题目
索引
致谢