第1章 绪论

1.1引言

1.2 MEMS的设计

1.3 MEMS制造

1.4微机电系统与微加工制造技术

1.5 MEMS中的微光学MOEMS

1.6微惯性器件及微惯性技术的发展

1.7微惯性系统的应用

第2章 微惯性系统基本工作原理

2.1微惯性器件的动力学基础

2.2微惯性航姿系统的工作原理

2.3姿态角的定义和更新

2.4捷联惯性导航系统的工作原理

2.5 GPS定位原理

第3章 微惯性器件的功能材料及加工制造技术

3.1硅材料的物理性能

3.2微机电系统加工技术基础

第4章 微惯性器件

4.1微传感器的的敏感机理

4.2压力传感器

4.3加速度传感器

4.4陀螺

4.5与MOEMS有关的传感器

第5章 微惯性器件的测试、标定与误差分析

5.1惯性器件测试基本概念

5.2微机械加速度计的测试与标定

5.3微机械陀螺仪的测试与标定

5.4微机械陀螺仪随机误差建模与分析补偿

5.5微机械陀螺随机误差的时间序列分析建模

5.6 MEMS陀螺小波去噪

5.7 MEMS陀螺随机误差的Allan方差分析方法

5.8微惯性器件的温度性能分析

5.9硅微惯性器件的测试实例

第6章 微惯性测量稳定系统

6.1微惯性测量系统

6.2微惯性稳定系统

第7章 基于微惯性系统的组合导航技术

7.1微惯性组合导航系统的基本原理

7.2微惯性组合导航系统的实现形式

7.3卡尔曼滤波在微惯性组合导航系统中的应用

7.4粒子滤波在微惯性组合导航系统中的应用

7.5 EKF/UKF在微惯性/GPS组合导航系统中的应用

7.6 EPF/UPF在微惯性/GPS组合导航系统中的应用

参考文献