第一章 真空的基本概念

1 压强单位与真空区域的划分

2 稀薄气体的基本性质

3 输运现象

4 蒸气

5 真空的应用

第二章 真空的获得

1 真空系统的构成

2 抽气速率和气体流量

3 气导

4 机械泵

5 汽流泵

6 离子蒸发泵

7 吸附泵和低温泵

8 放气和渗气

第三章 真空的测量

1 绝对真空规

2 相对真空规

3 真空规的校准

第四章 质谱分析与检漏

1 离子源和接收器

2 180°质谱计

3 四极场质谱计

4 飞行时间质谱计

5 一般检漏技术

6 补漏

第五章 真空材料与工艺

1 真空材料的选择

2 真空封接

3 清洁处理

4 除气

第六章 真空系统的设计和使用

1 真空系统

2 封闭式电真空器件的排气

3 真空镀膜

1 真空与表面科学

第七章 真空表面分析

2 电子与表面的相互作用

3 表面成份分析

4 表面结构分析

附录

一、几种气体的性质

二、常用元素的蒸气压

三、各种形状管道的气导值

四、部分国产双级旋片式转动泵的主要技术性能

五、部分国产油扩散泵的主要技术性能

六、安全操作注意事项

七、真空材料的清洁处理方法

实验索引