内容简介
1.半导体物理的一些基本概念
1-1 固体中的能带结构
1-2 费米分布函数和费米能级
1-3 半导体晶体中的电子和空穴
1-4 本征半导体中的载流子浓度
1-5 半导体中的施主杂质和受主杂质
1-6 电阻率和电导率
2.结的理论与特性
2-1 载流子扩散
2-2 载流子寿命
2-3 平衡结
2-4 非平衡结
2-5 结电容
2-6 反向击穿
3.杂质扩散和扩散结的性质
3-1 扩散理论
3-2 工艺因素对扩散分布的影响
3-3 扩散层的测定
3-4 扩散结的性质
3-5 金扩散
4.晶体管基本原理
4-1 用作放大器的n-p-n结型晶体管
4-2 电流增益和晶体管结构的关系
4-3 缓变基区的电流增益
4-4 晶体管的基极电阻
4-5 基极输入和集电极饱和电压
4-6 晶体管的最大电压特性
4-7 晶体管的频率响应
4-8 晶体管的开关特性
4-9 开关过程的定性描述
5.单块和混合电路的设计原理
5-1 基本工艺过程
5-2 混合集成电路的设计原理
5-3 单块电路的设计原理
5-4 基本的单块结构
5-5 各种工艺的优缺点
5-6 p-n-p-n-p-n结构的形成
5-7 光致抗蚀工艺
5-8 光掩模的制造
5-9 单块电路设计中的考虑
5-10 单块电路设计举例
5-11 小结
6.多相单块集成电路
6-1 多相单块集成电路的制造
6-2 多相单块集成电路的优点
7.单块电路的晶体管和二极管
7-1 单块集成电路晶体管的结构
7-2 击穿电压特性
7-3 漏电流特性
7-4 单块(电路)晶体管的电容
7-5 电流增盆
7-6 饱和特性
7-7 单块电路晶体管的频率响应
7-8 单块电路晶体管特性及电路应用小结
7-9 把集成电路晶体管用作二极管的五种基本接法
7-10 二极管反向击穿电压
7-11 二极管漏电流
7-12 二极管电容
7-13 二极管存贮时间(二极管恢复时间)
7-14 正向特性
7-15 p-n-p寄生晶体管作用
7-16 集成电路二极管小结
8.集成电路中的场效应器件
8-1 场效应晶体管的工作和设计原理
8-2 其他结型场效应器件
8-3 场效应器件工艺
8-4 绝缘栅FET
9.集成电路中其他有源器件
9-1 隧道二极管和反向二极管
9-2 变容二极管
9-3 单结晶体管
9-4 p-n-p-n开关
10.集成电路的无源元件
10-1 结(型)电容器
10-2 薄膜电容器
10-3 扩散电阻器
10-4 薄膜电阻器
10-5 电感器
10-6 压电滤波器
10-7 大容量电容器
10-8 集成电路系统的其他元件
10-9 小结
11.单晶生长和外延工艺
11-1 晶体生长
11-2 切片和抛光
11-3 外延
12.晶片加工
12-1 外延
12-2 扩散
12-3 光致抗蚀法
12-4 二氧化硅-硅的界面效应
12-5 欧姆接触的形成
13.集成电路中的薄膜
13-1 薄膜的淀积
13-2 薄膜的改性
13-3 薄膜图形的形成
13-4 薄膜参数的调整
13-5 薄膜的接触
13-6 衬底制备
13-7 相容电路的设计
13-8 薄膜电路的相容性
13-9 薄膜工艺小结
14.装架工艺
14-1 管芯切割和焊接
14-2 引线焊接
14-3 封口
14-4 寄生成份
14-5 导热问题
15.集成电路的封装
15-1 外壳的密封
15-2 扁平外壳
15-3 T0-5型外壳
15-4 外壳的检验
15-5 散热问题
15-6 集成电路封装的发展趋势
附录A
附录B
附录C