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《MOS集成电路工艺规范》_上海元件五厂，上海半导体研究所编_10248612_15192·78

【书名】：《MOS集成电路工艺规范》
【作者】：上海元件五厂，上海半导体研究所编
【出版社】：上海：上海科学技术文献出版社
【时间】：1980
【页数】：196
【ISBN】：15192·78
【SS码】：10248612