第1章 概述

1.1声学常见名词和物理量

1.2矢量水听器国内外研究进展及应用现状

1.3 MEMS技术应用于矢量水听器

第2章 MEMS矢量水听器微结构设计及仿真

2.1纤毛式MEMS矢量水听器仿生微结构工作原理

2.2纤毛式MEMS矢量水听器十字梁微结构力学建模

2.2.1 MEMS矢量水听器微结构的力学特性分析

2.2.2 MEM S矢量水听器微结构的频率特性分析

2.3微结构应力集中方案设计

2.3.1多重应力集中方法及其应用于十字梁微结构

2.3.2应力集中区域选择及尺寸设计

2.3.3 MSCR对十字梁微结构性能的提高

2.4纤毛集成低密度小球技术

第3章 纤毛式MEMS矢量水听器微结构加工集成

3.1部分关键工艺设计

3.1.1多重应力集中区凹槽刻蚀

3.1.2压敏电阻条设计

3.1.3欧姆接触及金属互连线设计

3.1.4体硅刻蚀工艺设计

3.2十字梁微结构MEMS加工工艺流程设计

3.3十字梁微结构光刻掩膜版图设计

3.4纤毛式MEMS矢量水听器芯片一致性测试

3.4.1纤毛式MEMS矢量水听器芯片形貌测试

3.4.2纤毛式MEMS矢量水听器压敏电阻一致性测试

3.5纤毛与十字梁微结构集成

第4章 纤毛式MEMS矢量水听器芯片封装集成

4.1纤毛式MEMS矢量水听器芯片封装模型的提出

4.2有限元仿真透声帽的声学性能

4.2.1固定约束对透声帽透声性能影响的仿真

4.2.2不同几何尺寸的透声帽透声性能仿真

4.2.3桔瓣式封装结构提出及有限元建模仿真

4.2.4不同材质的透声帽透声性能仿真

4.3微型导流罩设计

4.4低噪声信号提取电路设计

4.5纤毛式MEMS矢量水听器组装集成

4.5.1纤毛式MEMS矢量水听器芯片隔振支座研制

4.5.2纤毛式MEMS矢量水听器封装集成流程

第5章 纤毛式MEMS矢量水听器室内性能测试

5.1灵敏度测试

5.1.1纤毛式MEMS矢量水听器裸芯片灵敏度测试

5.1.2纤毛式MEMS矢量水听器透声帽封装后灵敏度测试

5.2指向性测试

5.3纤毛式MEMS矢量水听器量程测量

5.4纤毛式MEMS矢量水听器抗振动性能测试

第6章 纤毛式MEMS矢量水听器湖、海试性能测试

6.1微型导流罩流激噪声抑制能力测试

6.1.1不同材料的微型导流罩对纤毛式MEMS矢量水听器性能的影响

6.1.2典型使用环境下微型导流罩抑制流激噪声能力测试

6.2纤毛式MEMS矢量水听器新安江湖试

6.2.1灵敏度测试

6.2.2指向性测试

6.3纤毛式MEMS矢量水听器海试

第7章 MEMS矢量水听器及其纤毛仿生微结构工程应用初步

7.1 MEMS矢量水听器在水雷兵器上的应用

7.2 MEMS矢量水听器在海底观测网上的初步应用

7.3纤毛式MEMS仿生微结构应用于水下湍流检测

7.4电子心音器

参考文献