内容简介
1.1传感器的定义及分类
1.1.1传感器的定义
1.1.2传感器的分类
第1章 传感器概述
1.2传感器的作用与地位
1.3传感器技术的发展动向
1.3.1发现新现象
1.3.2开发新材料
1.3.3采用微细加工技术
1.3.4传感器的智能化
1.3.5仿生传感器
第2章 传感器的特性及标定
2.1传感器的静态特性
2.1.1线性度
2.1.4重复性
2.1.2灵敏度
2.1.3迟滞
2.2传感器的动态特性
2.2.1传感器动态特性的数学模型
2.2.2算子符号法与传递函数
2.2.3频率响应函数
2.2.4动态响应特性
2.3传感器的标定
2.3.1传感器的静态特性标定
2.3.2传感器的动态标定
第3章 传感器中的弹性敏感元件设计
3.1弹性敏感元件的基本特性
3.1.1弹性特性
3.1.3弹性后效
3.1.4固有振动频率
3.1.2弹性滞后
3.2弹性敏感元件的材料
3.3弹性敏感元件的特性参数计算
3.3.1弹性圆柱
3.3.2悬臂梁
3.3.3扭转棒
3.3.4平膜片
3.3.5波纹管
3.3.6薄壁圆筒
3.3.7双端固定梁
3.4有限单元法简介
3.4.1弹性力学
3.4.2边界条件
3.4.3最小势能原理
3.4.4有限单元法
4.1.2磁—电转换功能
4.1.1压—电转换功能
第4章 敏感元件材料
4.1敏感材料的转换功能
4.1.3光—电转换功能
4.1.4热—电转换
4.2半导体敏感材料
4.2.1影响半导体物理性能的外场效应
4.2.2常用半导体敏感材料
4.3陶瓷敏感材料
4.3.1压电陶瓷
4.3.2热释电陶瓷
4.3.3半导体陶瓷
4.4有机敏感材料
4.4.1有机热敏器件
4.4.2压电性和热释电性高分子材料
4.5形状记忆合金
4.6微细加工技术
4.6.1各向异性腐蚀
4.6.2氧化与掺杂
4.6.3键合技术
第5章 电阻应变式传感器
5.1电阻应变片的工作原理(应变效应)
5.2电阻应变片的结构、类型及参数
5.2.1应变片的基本结构
5.2.2电阻应变片的种类及特点
5.2.3金属应变片的参数
5.2.4应变片的粘贴技术
5.3应变片的动态响应特性
5.3.1应变波的传播过程
5.3.2应变片的极限工作频率估算
5.4.1直流电桥
5.4测量电路
5.4.2交流电桥
5.5电阻应变式传感器的温度误差及其补偿
5.5.1温度误差及其产生原因
5.5.2温度补偿方法
5.6应变式传感器的结构设计及应用
5.6.1应变式压力传感器
5.6.2应变式加速度传感器
第6章 电容式传感器
6.1电容式传感器
6.1.1基本工作原理
6.1.2电容式传感器的线性及灵敏度
6.2电容式传感器的输出电路及等效电路
6.2.1电容式传感器的等效电路
6.2.2电容式传感器的输出电路
6.3.2寄生电容的影响
6.3影响电容传感器精度的因素及提高精度的措施
6.3.1边缘效应的影响
6.3.3温度的影响
6.4电容式传感器的应用
6.4.1电容式压力传感器
6.4.2电容式加速度传感器
6.4.3电容式荷重传感器
6.4.4振动、位移测量仪
6.4.5电容测厚传感器
第7章 压电式传感器
7.1压电式传感器的工作原理
7.1.1压电效应
7.1.2压电效应的物理解释
7.2压电元件常用结构形式
7.3.1等效电路
7.3压电元件的等效电路及测量电路
7.3.2测量电路
7.4压电式加速度传感器
7.4.1工作原理及特性
7.4.2压电加速度传感器的典型结构
7.4.3压电式加速度传感器的应用
7.5压电式压力传感器
7.5.1压电式压力传感器的原理及结构
7.5.2压电式压力传感器的结构及应用
第8章 电感式传感器
8.1电感式传感器
8.1.1电感式传感器的工作原理和等效电路
8.1.2电感式传感器的结构类型及特性
8.1.3电感传感器的测量电路
8.2差动变压器式电感传感器
8.2.2差动变压器式传感器的特性
8.2.1工作原理
8.3电涡流式传感器
8.3.1电涡流式传感器的工作原理及特性
8.3.2电涡流式传感器结构型式及特点
8.3.3影响电涡流式传感器灵敏度的因素
8.3.4测量电路
8.4电感式传感器的应用
第9章 压阻式传感器
9.1压阻式传感器的工作原理
9.2晶向的表示方法
9.3压阻系数
9.4影响压阻系数的因素
9.5压阻式传感器的结构与设计
9.5.1压阻式压力传感器
9.5.2压阻式加速度传感器
9.6压阻式传感器的测量电路及补偿
9.6.1恒压源供电
9.6.2恒流源供电
9.6.3减小在扩散工艺中的温度影响
9.7压阻式传感器的应用
第10章 热电式传感器
10.1热电偶
10.1.1热电偶的工作原理
10.1.2热电偶基本定律
10.1.3常用热电偶
10.2热电阻
10.2.1铂电阻
10.2.2铜电阻
10.3.1导电机理
10.3.2电阻与温度的关系
10.3热敏电阻
10.3.3耗散常数
10.3.4热敏电阻的电流—电压特性
10.3.5热敏电阻的应用
10.4热释电型温度传感器
10.5半导体集成温度传感器
第11章 光电式传感器
11.1光电式传感器的工作原理及基本组成
11.2光电式传感器中的敏感元件
11.2.1外光电效应型光电器件
11.2.2内光电效应型光电器件
11.3光电式传感器的类型及设计
11.4光电式传感器的应用
12.1电荷耦合图像传感器
12.1.1CCD的基本工作原理
第12章 固态图像传感器
12.1.2线阵与面阵CCD图像传感器
12.1.3CCD图像传感器的特性参数
12.2其它类型的图像传感器
12.2.1电荷注入器件(CID)
12.2.2MOS型固体图像传感器件
12.2.3电荷引发器件(CPD)
12.2.4叠层型固体传感器件
12.3固态图像传感器的应用
第13章 固态磁敏传感器
13.1固态磁敏传感器
13.1.1霍耳元件
13.1.2霍耳式传感器的应用
13.2磁敏二极管和磁敏三极管
13.2.1磁敏二极管的工作原理和主要特性
13.2.2磁敏三极管工作原理和主要特性
13.2.3磁敏二极管和磁敏三极管的应用
14.1湿敏传感器
14.1.1湿度概念
第14章 化学传感器
14.1.2陶瓷湿度传感器
14.1.3MgCr2O4系湿敏传感器
14.1.4ZnO-Cr2O3系湿度传感器
14.1.5M系列氧化铝湿度传感器
14.2气敏传感器
14.2.1概述
14.2.2固态电解质气敏传感器
14.2.3电位式气敏传感器
14.2.4氧化物半导体气敏传感器
15.1核辐射传感器
15.1.1核辐射检测的物理基础
第15章 射线及微波检测传感器
15.1.2核辐射传感器
15.1.3核辐射检测技术的应用
15.2超声检测
15.2.1超声检测原理
15.2.2压电式超声波换能器
15.2.3超声波在检测技术中的应用
15.3红外辐射传感器
15.3.1红外辐射的基本知识
15.3.2红外传感器的分类
15.3.3红外传感器的应用
15.4微波传感器
15.4.1微波的基础知识
15.4.2微波传感器
15.4.3微波检测技术的应用
16.1.1光导纤维及其传光原理
16.1光导纤维
第16章 光导纤维传感器
16.1.2光导纤维的主要参数
16.1.3光在普通光导纤维内的传输
16.2光纤传感器
16.2.1光纤传感器的光源
16.2.2光纤传感器的光探测器
16.2.3光纤传感器的分类
16.3光纤传感器的应用
16.3.1传光型光纤传感器
16.3.2功能型光导纤维传感器
第17章 传感器接口技术基础知识
17.1检测信号的放大与变换
17.1.1运算放大器
17.1.2仪表放大器
17.1.3程控测量放大器
17.1.4信号变换器(电压—电流变换电路)
17.2调制与解调
17.2.1调幅与其解调
17.2.2调频与其解调
17.3滤波器
17.3.1实际滤波器的基本参数
17.3.2滤波器电路原理
17.4多路模拟开关及采样保持器
17.4.1多路模拟开关
17.4.2采样保持电路
17.5A/D、D/A转换技术
17.5.1D/A转换器原理及技术指标
17.5.2A/D转换器技术
17.6传感器数据采集技术
参考文献