1.1.1 气体定律

1.1.2 气体分子的速率

第1篇 真空工程的技术基础

第1章 稀薄气体动力论

1.1 稀薄气体在平衡态下的物理特性

1.1.4 气体分子自由程及其分布律

1.1.3 气体分子之间的碰撞

1.1.5 气体分子对表面的入射

1.2.1 气体的动量迁移

1.2 稀薄气体在非平衡态下的迁移

1.1.6 气体分子从表面的反射

1.2.2 气体的能量迁移

1.2.3 气体的质量迁移

1.2.4 热流逸现象

1.2.5 分子辐射力现象

1.3.1 流动状态及其判别

1.3 稀薄气体的流动

1.3.4 分子流态的流量——克努曾公式

1.3.3 黏滞流态的流量-泊谡叶公式

1.3.2 流动参量

1.3.5 过渡流态的流量

2.1.2 蒸气压

2.1.1 蒸汽

第2章 真空中的相变与气固界面现象

2.1 蒸发和凝结

2.1.3 蒸发率和凝结率

2.2.1 吸附机理

2.2 吸附

2.2.2 吸附参量

2.2.3 物理吸附与化学吸附

2.2.4 吸附动力学

2.2.5 吸附等温线

2.3.1 气体在固体中的溶解

2.3 溶解、扩散和渗透

2.3.2 气体在固体中的扩散与渗透

3.1.1 荷能原子、离子与表面

3.1 荷能粒子与表面

第3章 真空中的电现象

3.2.1 电子发射基础

3.2 电子发射

3.1.2 荷能电子与表面

3.2.2 热电子发射

3.2.4 二次电子发射

3.2.3 场致发射

3.3 气体放电

3.2.5 光电子发射

3.3.1 气体放电中的粒子碰撞

3.3.3 气体放电特性

3.3.2 带电粒子在气体中的运动

3.3.4 气体放电实验及伏安特性曲线

3.3.5 汤生放电

3.3.6 破裂电压与巴邢定律

3.3.7 辉光放电

3.3.8 弧光放电

3.3.9 其他类型放电

3.4.2 电磁偏转

3.4.1 电磁加速

3.4 带电粒子在电磁场中的运动

3.4.3 磁聚焦

3.4.4 带电粒子在恒定电场中的运动

3.4.5 带电粒子在正交均匀电磁场中的运动

3.4.6 带电粒子在径向电场及轴向磁场中的运动

4.1.1 液环泵的工作原理及特点

4.1 液环式真空泵

第2篇 真空工程的基础元件

第4章 机械真空泵

4.1.2 液环泵的基本类型与结构

4.1.3 液环泵的设计计算

4.1.5 液环泵的使用与注意事项

4.1.4 液环泵的常见故障及消除方法

4.2.1 往复泵的结构和工作原理

4.2 往复式真空泵

4.2.2 往复泵的主要性能参数

4.2.3 往复泵的气阀设计

4.2.4 往复泵设计中的几个问题

4.2.5 往复泵的使用与维护

4.3.2 工作原理和结构特点

4.3.1 概述

4.3 旋片式真空泵

4.3.3 性能参数及主要几何尺寸的确定

4.3.4 气镇量的计算

4.3.5 旋片泵的运行和维护

4.4.1 概述

4.4 滑阀式油封机械泵

4.4.2 滑阀泵的工作原理和结构特点

4.4.3 滑阀泵性能参数和主要几何尺寸的确定

4.4.4 滑阀泵的质量平衡与减振

4.4.5 机械泵油

4.4.6 滑阀式真空泵常见故障及其消除方法

4.5.1 概述

4.5 罗茨式真空泵

4.5.2 罗茨泵的工作原理及其结构特点

4.5.3 罗茨泵的主要参数确定

4.5.4 罗茨泵的转子型线

4.5.5 抽气速率的计算方法

4.5.6 罗茨泵的主要尺寸的确定

4.5.7 罗茨泵的使用与维护

4.6.1 概述

4.6 爪型干式真空泵

4.6.3 爪型转子的理论型线

4.6.2 工作原理

4.6.4 爪型干式真空泵的几何性能

4.6.5 爪型干泵的结构特点

4.7.2 涡旋泵工作原理与结构

4.7.1 概述

4.7 涡旋干式真空泵

4.7.3 涡旋泵几何参数与啮合条件

4.7.4 涡旋泵的设计计算

4.7.5 密封部位的泄漏量

4.8 螺杆式真空泵

4.7.6 涡旋泵的主要性能参数

4.8.2 螺杆式真空泵的结构

4.8.1 螺杆式真空泵的工作原理

4.8.3 螺杆式真空泵转子的型线

4.8.4 螺杆式真空泵的几何特性

4.9.1 概述

4.9 分子真空泵

4.9.2 牵引分子泵的抽气原理与结构特点

4.9.3 多槽螺旋式牵引分子泵的设计原理

4.9.4 涡轮分子泵的抽气原理及结构特点

4.9.5 涡轮分子泵抽气性能的计算

5.1.2 水喷射泵的工作原理

5.1.1 水喷射泵的主要用途

第5章 喷射真空泵

5.1 水喷射泵

5.1.4 水喷射泵的设计与计算方法

5.1.3 水喷射泵的主要结构形式

5.1.5 水喷射泵的安装形式

5.1.6 水喷射泵常见故障及排除方法

5.2.3 水蒸气喷射泵的抽气特性

5.2.2 水蒸气喷射泵的工作原理

5.2 蒸汽喷射泵

5.2.1 概述

5.2.4 多级喷射泵系统的组成和结构

5.2.5 水蒸气喷射泵的设计计算

5.2.6 水蒸气喷射泵的常见故障及消除方法

5.3.1 油扩散泵的结构

5.3 油扩散泵

5.3.3 油扩散泵的抽气特性

5.3.2 扩散泵的工作过程

5.3.4 油扩散泵的加热功率

5.3.6 油扩散泵的使用与维护

5.3.5 扩散泵工作液

5.4.2 油增压泵的结构

5.4.1 油增压泵的工作原理

5.4 油扩散喷射真空泵

5.4.3 油增压泵的抽气特性

5.4.4 油增压泵的使用与维护

6.1.3 主要性能参数

6.1.2 分类与结构

第6章 气体捕集真空泵

6.1 低温泵

6.1.1 抽气机理和性能特点

6.2.2 原理与结构

6.2.1 特点及应用范围

6.1.4 设计原则和程序

6.2 溅射离子泵

6.2.3 设计与计算要点

6.3 钛升华泵

6.4.2 电离器的结构

6.4.1 电离升华泵的工作原理

6.4 电离升华泵

6.5.1 分子筛的结构及其抽气原理

6.5 分子筛吸附泵

6.5.2 分子筛吸附泵的结构

6.5.3 设计与计算要点

6.6.1 工作原理与结构

6.6 非蒸散型吸气泵

6.6.2 设计与计算要点

7.1.3 真空阀门发展概况

7.1.2 真空阀门的特点、种类

第7章 真空阀门

7.1 概述

7.1.1 真空阀门的定义、作用

7.2.1 真空阀门的基本要求

7.2 真空阀门的设计与计算

7.1.4 发展前景

7.2.3 真空阀门的密封

7.2.2 真空阀门设计步骤

7.2.4 真空阀门压紧装置及设计计算

7.2.5 阀盖的传动机构及其设计计算

7.3.1 隔膜式真空阀门

7.3 真空阀门原理、形式、性能参数

7.3.2 电磁真空阀

7.3.3 真空挡板阀

7.3.4 真空插板阀

7.3.5 真空翻板阀

7.3.6 真空蝶阀

7.3.7 真空球阀

7.4.1 真空微调阀

7.4 真空微调阀、真空放气阀

7.4.2 真空放气阀

7.5.2 形式、性能参数

7.5.1 原理、使用范围

7.5 玻璃真空活塞

7.6.1 真空阀门漏气速率（简称漏率）的测试

7.6 真空阀门性能测试（选自JB/T 6446—92）

7.5.3 安装、使用、维护

7.6.3 真空阀门寿命的测试

7.6.2 真空阀门流导的测试

8.2.2 焊接

8.2.1 封接

第8章 真空密封

8.1 概述

8.2 永久密封连接

8.3.1 柔性密封连接

8.3 可拆密封连接

8.3.3 法兰与垫圈相结合的密封连接

8.3.2 螺纹密封连接

8.4.1 真空动密封连接的分类

8.4 真空动密封连接

8.4.2 接触式真空动密封连接

8.4.3 非接触式真空动密封连接

9.1 除尘器

9.1.1 几种除尘器的工作原理

第9章 除尘器和挡油器

9.1.2 除尘过滤器的种类

9.2.1 挡油帽

9.2 挡油器

9.2.2 挡油板

9.2.3 冷阱

10.1.1 观察窗的结构类型

10.1 观察窗

第10章 观察窗和电板导入部件

10.1.3 观察窗的设计要点

10.1.2 真空设备常用的观察窗标准（SJ 1774—81）

10.2.2 电极导入部件的结构

10.2.1 电极导入部件密封的设计要求

10.2 真空室电极导入部件

11.1.3 真空计的分类及测量范围

11.1.2 真空度量值的单位

第11章 真空测量仪器

11.1 概述

11.1.1 真空测量的研究对象

11.1.4 真空测量的特点及真空计的选用原则

11.2.2 闭式U形管真空计的压力测量原理

11.2.1 开式U形管真空计的压力测量原理

11.2 液位式真空计

11.2.3 U形管真空计结构形式的改进

11.3.2 压缩式真空计的测量刻度方法及灵敏度

11.3.1 压缩式真空计的结构与原理

11.3 压缩式真空计

11.3.3 压缩式真空计的测量范围

11.3.4 压缩式真空计的测量误差与标准压缩式真空计

11.3.5 压缩式真空计的形式及使用注意事项

11.4.2 电容式薄膜真空计

11.4.1 机械传动式弹性变形真空计

11.4 弹性变形真空计

11.4.3 振膜式真空计

11.5.1 热传导真空计的工作原理、测量范围及特点

11.5 热传导真空计

11.5.2 电阻真空计

11.5.3 热偶真空计

11.6.1 热阴极电离真空计

11.6 电离真空计

11.6.2 冷阴极电离真空计

11.6.3 放射性电离真空计

11.7.1 非对称型磁悬浮转子真空计的结构及工作原理

11.7 磁悬浮转子真空计

11.8.2 四极滤质器

11.8.1 分压力测量或残余气体分析的过程及主要性能

11.7.2 磁悬浮转子真空计的特点

11.8 分压力真空计

11.8.3 射频质谱计

11.8.5 识谱技术

11.8.4 飞行时间质谱仪

11.9.2 静态膨胀法

11.9.1 绝对真空计校准法

11.9 真空计校准

11.9.3 动态流导法

11.9.4 副标准真空计校准法

11.10.3 规管安装位置和方法对真空测量的影响

11.10.2 温度对真空测量的影响

11.10 真空测量技术

11.10.1 气体种类对真空测量的影响

11.10.6 管规和裸规的差异

11.10.5 热表面与气体相互作用对真空测量的影响

11.10.4 规管吸放气作用对真空测量的影响

12.1 真空系统的种类及工作状态

第12章 常用真空系统的组成与安装

第3篇 真空工程中常用的真空系统

12.2.1 真空室的门

12.2 真空室（被抽容器）

12.2.2 真空室的冷却

12.3.2 真空系统的调试及日常维护

12.3.1 真空系统的安装

12.2.3 真空室的特殊结构

12.3 常用真空系统的安装、调试与维护

13.1.3 材料的许用应力与焊缝系数

13.1.2 容器的壁厚附加量与最小壁厚

第13章 真空容器的设计与计算

13.1 真空容器设计的一般知识

13.1.1 薄壳壁厚与设计压力

13.1.4 容器开孔与开孔补强

13.1.5 压力试验

13.2.1 圆筒形壳体的设计

13.2 真空容器壳体的设计

13.2.4 盒形壳体设计

13.2.3 圆锥形壳体的设计

13.2.2 球形壳体的设计

13.2.5 椭圆球形壳体的设计

13.2.6 圆环形壳体

13.3.1 概述

13.3 圆筒体加强圈的设计

13.4.2 外压凸形封头

13.4.1 外压球形封头

13.3.2 图表法计算加强圈

13.4 封头设计

13.4.3 锥形封头

13.4.4 平盖

13.4.5 同圆筒体连接的加强球盖

13.5.2 封头开孔补强

13.5.1 概述

13.4.6 井字加强圆形球盖

13.5 开孔加强设计

13.5.5 开孔补强计算

13.5.4 内压圆筒体开孔补强

13.5.3 外压容器的开孔补强

13.6.1 螺栓计算

13.6 法兰及管道设计

13.5.6 并联开孔的补强

13.5.7 加强方法

13.6.2 内压法兰计算

13.6.4 快开法兰计算

13.6.3 外压法兰计算

13.6.5 管道壁厚计算

14.2.1 流导和流导几率

14.2 管道的流导计算

第14章 真空系统的设计与计算

14.1 概述

14.1.1 气体流动状态的判别

14.1.2 真空系统的有效抽速

14.2.2 流导的计算

14.3.1 真空系统的抽气方程

14.3 抽气时间的计算

14.3.2 低真空下抽气时间的计算

14.3.5 有关超高真空抽气的一些问题

14.3.4 几个典型真空度的抽气时间

14.3.3 高真空下抽气时间的计算

14.4.1 选主泵

14.4 真空系统设计

14.4.2 配泵

14.4.4 真空系统的典型形式

14.4.3 贮气罐和维持泵

14.5.1 镀膜设备真空系统的设计

14.5 真空系统设计实例

14.5.2 新型电子束熔炼炉的真空系统设计

14.5.3 大型准无油真空除气炉的设计

14.5.4 真空汽相干燥设备的真空系统设计

14.5.5 76km高空环境模拟试验舱的真空系统的设计

14.5.6 SSRF增强器真空系统设计

15.1.3 漏孔、漏率、最大允许漏率

15.1.2 漏气的判断方法

第15章 真空系统的检漏

15.1 概述

15.1.1 真空检漏的目的及一些基本概念

15.1.4 漏孔的气流特性

15.2.2 真空检漏法

15.2.1 压力检漏法

15.2 检漏方法分类及对检漏方法的要求与选择

15.2.5 对检漏方法的要求与选择

15.2.4 各种检漏方法小结

15.2.3 背压检漏法

15.3.1 静态升压法

15.3 各种检漏方法

15.3.2 气泡检漏法

15.3.3 氨气检漏法

15.3.4 真空计检漏法

15.3.6 氢-钯检漏法

15.3.5 离子泵检漏法

15.3.9 慢性漏气的加速检测法

15.3.8 放射性同位素检漏法

15.3.7 荧光检漏法

15.4.1 高频火花检漏仪

15.4 真空检漏仪器

15.4.2 卤素检漏仪

15.4.3 气敏半导体检漏仪

15.5.1 氦质谱检漏仪的工作原理

15.5 氦质谱检漏仪

15.5.2 氦质谱检漏仪的整体结构

15.5.3 氦质谱检漏仪的灵敏度及其校准

15.5.4 检漏方法

15.6.1 标准漏孔及其常用的结构形式

15.6 标准漏孔

15.7 真空检漏工作的注意事项

15.6.3 标准漏孔使用中应注意的几个问题

15.6.2 标准漏孔的校准

16.1.1 真空感应炉概述

16.1 真空感应炉

第4篇 真空工程技术的主要应用

第16章 真空冶炼设备

16.1.2 真空感应加热与熔炼的物理基础

16.1.3 真空感应炉的结构设计计算

16.1.4 真空感应炉的参数计算

16.1.5 真空感应炉的电源

16.2.1 真空电弧熔炼概述

16.2 真空电弧炉

16.2.2 真空中的电弧

16.2.3 真空自耗炉的结构及其设计计算

16.2.4 真空电弧炉的电源和自耗电极的控制

16.3.1 概述

16.3 真空电子束炉

16.3.2 电子束加热原理

16.3.3 电子束炉的结构

16.3.4 熔炼功率、熔化速度和送料速度

16.3.5 轴向电子束发生器

16.3.6 电子束熔炼炉的主回路

16.4.1 概述

16.4 钢液真空炉外精炼

16.4.2 钢液真空脱气及排除夹杂原理

16.4.4 钢液炉外精炼的钢种及精炼的冶金效果

16.4.3 钢液真空处理方法及炉外精炼手段的分类

16.4.5 钢液真空炉外精炼设备

16.4.6 钢液真空炉外精炼设备设计中的若干问题

17.1.1 真空热处理的作用

17.1 真空热处理的理论基础

第17章 真空热处理设备

17.1.3 真空热处理的工艺过程

17.1.2 真空热处理的特点

17.1.4 影响真空热处理的工艺参数

17.2 真空热处理炉的结构设计

17.2.1 真空热处理炉的分类

17.2.2 真空热处理炉的结构

17.3.2 加热功率计算

17.3.1 设计参数和总体方案的确定

17.3 真空热处理设备的设计计算

17.3.3 加热体几何尺寸的设计计算

17.3.5 水冷却系统的计算

17.3.4 加热体寿命计算

17.3.6 气冷风机的设计计算

17.3.7 淬火油槽的设计

17.3.8 淬火料筐的传动机构的设计

17.4 真空热处理炉的典型结构及应用

17.4.1 真空正压气淬和油淬炉的典型结构

17.4.2 真空正压气淬的典型应用

17.4.3 真空油淬的典型工艺

17.4.4 真空回火炉的典型结构及应用

17.4.5 真空渗碳炉及其应用

17.4.6 真空热处理设备的选型

第18章 真空钎焊与烧结

18.1 真空钎焊

18.1.1 真空钎焊及其获得优质钎焊接头的机理

18.1.2 真空钎焊技术的特点及其应用领域

18.1.3 钎焊材料与钎焊辅助材料

18.1.4 真空钎焊工艺

18.1.5 真空钎焊技术的应用实例

18.1.6 真空钎焊设备

18.2 真空烧结

18.2.1 真空烧结技术的应用及特点

18.2.2 真空烧结工艺

18.2.3 真空烧结设备

19.1.1 概述

19.1 真空蒸发镀膜

19.1.2 真空蒸发镀膜原理

第19章 真空镀膜

19.1.3 蒸发源

19.1.4 蒸发源的蒸发特性及膜厚分布

19.1.5 真空蒸发镀膜设备

19.1.6 特殊蒸镀技术

19.2 真空溅射镀膜

19.2.1 溅射成膜理论

19.2.2 真空溅射镀膜方法

19.2.3 直流溅射镀膜

19.2.4 射频溅射镀膜

19.2.5 磁控溅射镀膜

19.2.6 其他溅射方法简介

19.3 真空离子镀膜

19.3.1 离子镀的类型

19.3.2 真空离子镀原理及成膜条件

19.3.3 等离子体在离子镀膜过程中的作用

19.3.4 离子镀中基片负偏压的影响

19.3.5 等离子镀的离化率与离子能量

19.3.6 离子镀膜性能工艺及其参数选择

19.3.7 离子镀的特点及应用

19.3.8 直流二极型离子镀装置

19.3.9 多阴极型离子镀装置

19.3.10 ARE活性反应离子镀装置

19.3.11 射频放电离子镀装置

19.3.12 空心阴极离子镀

19.3.13 真空阴极电弧离子镀

19.3.14 热阴极强流电弧离子镀

19.3.15 磁控溅射离子镀

19.4 离子注入与离子辅助沉积技术

19.4.1 离子注入的理论基础

19.4.2 离子注入设备

19.4.3 离子源

19.4.4 离子注入表面改性机理

19.4.5 离子注入技术的特点

19.4.6 离子束辅助沉积技术

19.5 化学气相沉积技术

19.5.1 CVD技术的原理、特点及应用

19.5.2 常压化学气相沉积（NPCVD）技术

19.5.3 低压化学气相沉积（LPCVD）技术

19.5.4 等离子体增强化学气相沉积（PECVD）技术

19.5.5 其他化学气相沉积法

19.5.6 化学气相沉积技术的应用实例

20.1.1 真空干燥特性

20.1 绪论

20.1.2 真空干燥设备的种类

第20章 真空干燥

20.1.3 真空干燥技术与设备的应用

20.1.4 真空干燥设备的选择

20.2 普通真空干燥技术与设备

20.2.1 真空箱式干燥设备

20.2.2 真空耙式干燥设备

20.2.3 滚筒式真空干燥机

20.2.4 双锥回转真空干燥设备

20.2.5 真空转鼓干燥设备

20.2.6 真空圆盘刮板干燥设备

20.2.7 圆筒搅拌式真空干燥设备

20.2.8 真空振动流动干燥设备

20.2.9 真空带式干燥设备

20.2.10 木材真空干燥设备

20.3 真空冷冻干燥技术与设备

20.3.1 真空冷冻干燥的基本原理

20.3.2 真空冷冻干燥设备

20.3.3 真空冷冻干燥工艺

20.4 真空气相干燥

20.4.1 真空气相干燥的原理

20.4.2 真空气相干燥设备

21.1.1 VPI技术的基本原理

21.1 VPI技术的基本原理和工艺过程

21.1.2 电机VPI工艺过程

第21章 真空压力浸渍

21.2.1 VPI工程的主要内容

21.2.2 VPI设备的总体设计

21.1.3 真空压力浸漆的作用

21.2 VPI工程与设备的总体设计

21.3.1 浸漆罐的设计

21.3 浸渍罐与贮漆罐的设计

21.3.2 贮漆罐的设计与计算

21.4.3 冷负荷的计算

21.4.2 保温层厚度的确定

21.4 真空压力浸漆设备的制冷系统

21.4.1 制冷系统的选择

21.5 真空压力浸漆设备的液压系统

21.6 真空压力浸漆设备的加热和输漆系统

21.7.1 有溶剂浸渍漆

21.7 浸渍漆

21.8 VPI设备的使用与维护

21.7.2 无溶剂浸渍漆

22.2.1 真空蒸馏的基础知识

22.2 真空蒸馏原理

第22章 真空蒸馏

22.1 概述

22.2.2 真空蒸馏过程的描述

22.3.1 间歇式蒸馏装置

22.3 真空蒸馏装置

22.3.3 连续蒸馏装置

22.3.2 半连续蒸馏装置

22.4 分子蒸馏

22.3.4 连续精馏装置

22.4.2 分子蒸馏的特点

22.4.1 分子蒸馏的基本原理

22.4.3 分子蒸馏装置的结构

22.4.4 分子蒸馏装置

22.4.8 分子蒸馏的控制系统

22.4.7 分子蒸馏装置的设计原则

22.4.5 分子精馏设备

22.4.6 各种分子蒸馏设备的主要特征

22.4.9 分子蒸馏的应用

22.4.10 分子蒸馏技术的前景

23.1.2 真空保鲜原理

23.1.1 环境对食品贮藏的影响

第23章 真空包装

23.1 真空包装保鲜食品

23.1.4 食品氧化与变色的防止

23.1.3 真空包装真空度

23.2.1 真空气体置换保鲜特点

23.2 真空气体置换保鲜

23.1.5 真空包装的应用

23.2.4 肉类气体置换保鲜

23.2.3 气体置换包装手段

23.2.2 气体置换保鲜原理

23.3.1 对包装材料的要求

23.3 真空包装材料

23.2.5 水果和蔬菜保鲜

23.2.6 预制食品保鲜

23.2.7 面包制品保鲜

23.3.4 蔬菜水果保鲜薄膜材料

23.3.3 保持食品风味的高阻隔薄膜材料

23.3.2 复合膜的用途及构成

23.4.1 概述

23.4 真空包装机

23.3.5 保持食品香味的薄膜材料

23.3.6 鲜蘑菇包装膜材

23.4.2 台式真空包装机

23.4.3 单室真空包装机

23.4.4 双室真空包装机

23.4.5 输送带式真空包装机

23.4.6 热成型真空包装机

23.4.8 膨松柔软物品的缩体包装机

23.4.7 吸管式真空充气包装机

24.1 真空输送原理及应用

第24章 真空输送

24.2 真空吸送系统的构成及主要设计参数

24.3.2 主要设计参数计算

24.3.1 氧化锌粉真空吸送设备的构成

24.3 氧化锌粉真空输送设备

24.3.3 输送设备主要部件结构

24.3.4 主要性能分析

24.4.1 真空输粮机工作原理及特点

24.4 ZS-6型移动式真空输粮机设计

24.4.2 气力系统的设计与计算

24.4.3 真空输送系统压力损失计算

24.5 真空吊车

24.4.4 风机或真空泵的选择

24.6.1 真空吸水吸盘结构

24.6 混凝土真空吸水

24.6.2 参数选择

24.6.3 确定施工方案

24.7.2 真空发生器与真空吸盘工作过程

24.7.1 真空发生器工作原理

24.6.4 真吸质量的保证

24.6.5 真吸在冬季施工的应用

24.7 真空发生器在真空吸附中的应用

24.7.3 真空发生器的应用

25.1.1 真空过滤原理

25.1 真空过滤的原理及真空过滤机分类

第25章 真空过滤

25.1.3 真空过滤机的分类

25.1.2 真空过滤机的工作原理

25.2.1 真空过滤机参数的选择和计算

25.2 真空过滤机的设计计算

25.2.2 转鼓真空过滤机的功率计算

25.2.3 带式真空过滤机的功率计算

25.3.1 刮刀卸料式转鼓真空过滤机

25.3 转鼓式真空过滤机

25.2.4 转盘真空过滤机的传动功率计算

25.3.3 滤布行走式转鼓真空过滤机

25.3.2 单室型转鼓真空过滤机（无格式转鼓真空过滤机）

25.4.1 结构与原理

25.4 圆盘式真空过滤机

25.4.3 特征及用途

25.4.2 发展趋势

25.6 带式真空过滤机

25.5.3 陶瓷圆盘真空过滤机的特点

25.5 陶瓷圆盘真空过滤机

25.5.1 结构特征与操作原理

25.5.2 应用

25.6.2 移动室型带式真空过滤机

25.6.1 固定室型真空带式过滤机

25.6.4 连续移动盘带式真空过滤机

25.6.3 滤带间歇运动型真空带式过滤机

25.7 真空过滤机的选型

25.8.1 过滤在选矿工业中的应用

25.8 真空过滤机的应用

25.8.2 过滤在冶金生产中的应用（以钴的冶炼为例）

25.8.3 真空过滤在煤炭工业中的应用

25.8.4 真空过滤在化学工业中的应用

25.8.5 过滤在食品生产中的应用（以柠檬酸的生产为例）

26.1.3 中国空间真空技术发展

26.1.2 研究范畴

第26章 空间真空技术

26.1 概述

26.1.1 特性

26.2.1 真空环境

26.2 宇宙空间环境

26.2.4 微重力环境

26.2.3 太阳辐射

26.2.2 分子沉环境

26.2.7 空间碎片环境

26.2.6 诱发的气体环境

26.2.5 原子氧环境

26.3.1 真空获得问题分类

26.3 在轨航天器中的真空获得技术

26.2.8 空间真空环境和航天器的相互作用

26.3.3 航天器真空装置在轨排气技术

26.3.2 航天器周围的分子环境

26.4.1 定义及理论研究

26.4 极高真空技术

26.4.3 限制极高真空系统极限压力的因素

26.4.2 现状与发展

26.4.4 获得极高真空技术的方法

26.4.5 用分子技术获得10-11Pa极高真空

26.5.2 空间环境模拟基本参数及物理特性

26.5.1 空间环境模拟试验重要性

26.4.6 极高真空技术的应用

26.5 空间环境模拟试验与设备

26.5.3 空间环境模拟试验及设备分类

26.5.4 中国典型空间环模设备

26.6.1 真空获得

26.6 发展与展望

26.6.5 空间真空新工艺

26.6.4 质谱与检漏

26.6.2 真空测量

26.6.3 空间材料的真空效应

27.1.3 真空在核电设备制造中的应用

27.1.2 真空在核电燃料生产中的应用

第27章 真空在核物理装置中的应用

27.1 真空在核电工程中的应用

27.1.1 概述

27.1.4 真空在核电站运行中的应用

27.2.3 真空室

27.2.2 受控核聚变装置真空环境特点

27.2 受控核聚变装置

27.2.1 概述

27.2.5 减少等离子体中杂质措施

27.2.4 粒子与器壁的相互作用

27.2.7 HL-2A托卡马克真空系统及烘烤

27.2.6 托卡马克装置

27.2.8 HT-7超导托卡马克第一壁He辉光硼化

27.3 加速器真空系统特点

27.4.3 6MeV串列加速器真空系统

27.4.2 高压加速器真空系统

27.4 高压加速器

27.4.1 加速管

27.4.4 高能同步加速器

27.5.1 真空室设计

27.5 电子感应加速器

27.4.5 回旋加速器真空系统

27.5.2 韧致辐射强度与真空度的关系

27.6.1 真空室设计

27.6 直线加速器

27.5.3 电子感应加速器真空系统

27.6.2 行波直线加速器真空系统

27.6.3 驻波直线加速器真空系统

27.6.4 电子直线加速器真空系统

28.1.2 国内外发展概况

28.1.1 离子束刻蚀的特点与应用

第28章 离子束刻蚀技术

28.1 概述

28.2.1 工作原理

28.2 工作原理和主要性能

28.1.3 发展前景

28.2.2 离子束刻蚀机主要性能

28.3.1 真空系统的设计计算

28.3 真空系统设计

28.4.1 离子源离子引出计算

28.4 离子源的设计

28.3.2 离子束刻蚀机结构设计要点

28.5.1 电源的特殊要求

28.5 离子源电源设计

28.4.2 离子源结构设计

28.6.1 离子源特性测试方法

28.6 离子源和真空系统性能测试方法

28.5.2 LSK型电源的特点

28.7.1 LSK-6型离子束刻蚀机

28.7 离子束刻蚀设备简介

28.6.2 真空系统性能测试方法

28.7.3 DSJ-4型离子束刻蚀机

28.7.2 LSK-2（2A）型离子束刻蚀机

28.8 离子束刻蚀工艺

28.7.5 国内外离子束刻蚀机性能指标

28.7.4 RIBE-200型离子束刻蚀机

28.9.1 LSK型离子束刻蚀机的操作

28.9 离子束刻蚀机的操作与维护

28.9.2 维护

28.9.3 检修

29.1 概述

第29章 真空绝热与低温容器和真空玻璃

29.2.1 绝热材料的种类及一般特性

29.2 绝热材料

29.2.2 绝热材料的热物理性质

29.2.3 绝热材料的选择

29.3.1 高真空绝热

29.3 真空绝热机理

29.3.2 真空粉末及真空纤维绝热

29.3.3 真空多层绝热

29.3.4 真空绝热的选择

29.4.1 概述

29.4 低温容器

29.4.3 低温容器典型结构介绍

29.4.2 低温容器的种类

29.4.4 低温容器设计要点

29.4.5 低温容器的特性及计算

29.5 真空绝热管道

29.6.1 真空多层绝热夹层中的气源

29.6 真空多层绝热夹层抽真空技术

29.7.1 真空玻璃概述

29.7 真空玻璃

29.6.2 真空多层绝热夹层中的抽真空

29.6.3 在真空多层绝热夹层中装吸附剂

29.7.3 真空玻璃的性能

29.7.2 真空玻璃的结构和生产制造

29.7.4 真空玻璃的隔热原理

29.7.6 真空玻璃的除气与抽空

29.7.5 真空玻璃中的应力

29.7.7 真空玻璃技术的产业化与市场

30.1.2 材料的扩散与渗透性

30.1.1 真空系统平衡方程

第5篇 真空工程材料与工艺

第30章 真空材料的性能

30.1 材料的真空性能

30.1.3 材料的放气

30.1.4 材料的蒸发、升华、蒸气压

30.2.2 真空材料的选材原则

30.2.1 真空材料的其他性能

30.2 真空材料的其他性能及选材原则

31.2.2 碳钢及不锈钢

31.2.1 铸件

第31章 真空工程常用材料

31.1 真空材料的种类

31.2 金属材料

31.2.3 有色金属

31.2.4 贵重金属

31.2.5 软金属

31.2.6 难熔金属

31.2.7 汞（Hg）

31.3.1 玻璃

31.3 非金属材料

31.2.8 合金

31.3.2 陶瓷

31.3.4 碳（石墨）及碳纤维制品

31.3.3 塑料

31.3.5 橡胶

31.4.1 机械泵油

31.4 真空泵油

31.4.2 扩散泵油

31.5.5 真空黏结剂

31.5.4 真空漆

31.4.3 扩散喷射泵油（增压泵油）

31.5 辅助密封材料

31.5.1 真空封蜡

31.5.2 真空封脂

31.5.3 真空封泥

31.6.1 吸气剂

31.6 吸气剂与吸附剂

31.6.2 吸附剂

31.7.1 制冷剂

31.7 低温制冷系统工作介质

31.7.2 载冷剂（冷媒）

32.1.2 表面净化处理的基本方法

32.1.1 概述

第32章 真空工程中的常用工艺

32.1 真空材料的表面净化处理

32.1.3 清洗的基本程序

32.2.1 材料除气的基本方法

32.2 真空材料的除气

32.1.4 非金属材料的清洗

32.2.2 玻璃及陶瓷材料的除气

32.2.3 金属材料的除气

32.2.5 超高真空系统的烘烤除气

32.2.4 电真空器件的除气

32.3.2 真空焊接的分类

32.3.1 真空技术对焊接工艺的要求

32.2.6 烘烤除气装置

32.3 真空工程用的焊接技术

32.3.3 氩弧焊

32.3.4 电子束焊

32.3.5 激光束焊接

32.3.6 超声波焊接

32.4 真空工程封接技术

32.4.1 玻璃-玻璃封接

32.4.2 玻璃-金属封接

32.4.3 陶瓷-金属材料的封接

32.4.4 其他材料的封接

参考文献