第1章 微纳米和先进制造中的测量技术

1.1工程纳米测量的定义

1.2本书主要内容

参考文献

第2章 测量基础知识

2.1测量技术简介

2.2测量单位和国际单位制

2.3长度

2.4质量

2.5力

2.6角度

2.7可溯源性

2.8准确度、精密度、分辨力、误差和不确定度

2.9激光

参考文献

第3章 精密测量仪器设计原则

3.1几何问题

3.2运动学设计

3.3动力学

3.4阿贝原则

3.5弹性压缩

3.6力回路

3.7材料

3.8对称

3.9隔振

参考文献

第4章 干涉法长度溯源

4.1长度溯源

4.2量块：既是量具又是溯源工具

4.3干涉测量技术简介

4.4干涉仪设计

4.5干涉法量块测量

参考文献

第5章 位移测量

5.1位移测量概述

5.2基本术语

5.3干涉法位移测量

5.4应变传感器

5.5电容位移传感器

5.6涡流和电感位移传感器

5.7光学编码器

5.8光纤传感器

5.9其他光学位移传感器

5.10位移传感器校准

参考文献

第6章 表面形貌测量仪器

6.1表面形貌测量简介

6.2空间波长范围

6.3经典表面形貌测量仪器的历史背景

6.4表面轮廓测量

6.5面域表面形貌测量

6.6表面形貌测量仪器

6.7光学仪器

6.8电容式仪器

6.9气动仪器

6.10表面形貌测量仪器校准

6.11表面形貌测量不确定度

6.12计量特性

6.13表面形貌测量仪器比对

6.14空间频率响应确定

6.15软件测量标准

参考文献

第7章 扫描探针与粒子束显微镜

7.1扫描探针显微镜

7.2扫描隧道显微镜

7.3原子力显微镜

7.4原子力显微镜测试物理量的实例

7.5测量纳米颗粒的扫描探针显微镜

7.6电子显微镜

7.7其他粒子束显微镜技术

参考文献

第8章 表面形貌表征

8.1表面形貌表征概况

8.2表面轮廓表征

8.3表面形貌的面域表征

8.4分形方法

8.5轮廓和面域表征的比较

参考文献

第9章 坐标测量

9.1坐标测量机简介

9.2坐标测量机的误差来源

9.3坐标测量机的可溯源性、校准和性能验证

9.4微坐标测量机

9.5微坐标测量机测头

9.6微坐标测量机的验证和校准

参考文献

第10章 质量和力的测量

10.1传统质量测量的可溯源性

10.2小质量测量

10.3小力值测量

参考文献

附录A：测量的国际单位及其在NPL的实现

附录B ： SI导出单位